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公開番号2022074413
公報種別公開特許公報(A)
公開日2022-05-18
出願番号2020184422
出願日2020-11-04
発明の名称真空ポンプ
出願人エドワーズ株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類F04D 19/04 20060101AFI20220511BHJP(液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ)
要約【課題】排気性能に優れた真空ポンプを提供する。
【解決手段】回転円板220a~220cと固定円板219a、219bの少なくともどちらか一方に、シグバーン渦巻き状溝部262が設けられたシグバーン型排気機構部201と、回転体103における円筒部102dとネジ付スペーサ131の少なくともどちらか一方に、ネジ溝131aが設けられたホルベック型排気機構部301と、を備え、ホルベック型排気機構部301は、シグバーン型排気機構部201の下流側に配置される真空ポンプにおいて、ホルベック型排気機構部301の流路深さは、所定深さH2で連続的に一定となっており、かつ、シグバーン型排気機構部201は、所定の位置から所定深さH2で連続的に一定となる領域を有する。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項1】
回転円板と固定円板の少なくともどちらか一方に、渦巻き状溝が設けられたシグバーン排気機構と、
回転円筒と固定円筒の少なくともどちらか一方に、らせん状溝が設けられたホルベック排気機構と、
を備え、
前記ホルベック排気機構は、前記シグバーン排気機構の下流側に配置される真空ポンプにおいて、
前記ホルベック排気機構の流路深さは、所定深さで連続的に一定となっており、かつ、前記シグバーン排気機構は、所定の位置から前記所定深さで連続的に一定となる領域を有することを特徴とする真空ポンプ。
続きを表示(約 250 文字)【請求項2】
前記シグバーン排気機構を複数段備え、
複数の前記シグバーン排気機構のうち、少なくとも前記ホルベック排気機構と接続された最下段の前記シグバーン排気機構の流路深さは、前記所定深さで連続的に一定となっていることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
【請求項3】
前記シグバーン排気機構の上流側に、
翼列を有する回転翼と、前記回転翼と軸方向に所定の間隔を持って配置される固定翼と
を備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載の真空ポンプ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、例えばターボ分子ポンプ等の真空ポンプに関する。
続きを表示(約 1,800 文字)【背景技術】
【0002】
一般に、真空ポンプの一種としてターボ分子ポンプが知られている。このターボ分子ポンプにおいては、ポンプ本体内のモータへの通電により回転翼を回転させ、ポンプ本体に吸い込んだガス(プロセスガス)の気体分子を弾き飛ばすことによりガスを排気するようになっている。
【0003】
また、このようなターボ分子ポンプには、シグバーン(「シーグバーン」ともいう)型のもの(特許文献1~3)がある。このシグバーン型分子ポンプにおいては、回転円板と固定円板の間の隙間に、山部により仕切られた渦巻き状溝流路が複数形成されている。そして、シグバーン型分子ポンプは、渦巻き状溝流路内に拡散した気体分子に対し、回転円板により接線方向の運動量を与え、渦巻き状溝流路により排気方向へ向けて優位な方向性を与えて排気を行うようになっている。
【0004】
さらに、ターボ分子ポンプには、ねじ溝式のもの(特許文献4)などもある。このねじ溝式のターボ分子ポンプにおいては、ねじ溝スペーサ(70)とロータ円筒部(10)が所定のクリアランスを隔てて対向し、ねじ溝が、ガスを輸送する流路となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
特許第6228839号公報
特許第6353195号公報
特許第6616560号公報
特開2013-217226号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
ところで、上述の各種のターボ分子ポンプのような真空ポンプにおいては、さまざまな工夫により、排気性能の向上が図られている。そして、この排気性能に係る指標としては、主に、「排気速度」、「圧縮性能」、及び、「背圧特性」がある。これらのうち「排気速度」は、純粋な単位時間当たりの排出可能なガス流量を表す指標である。また、「圧縮性能」は、ガスをどれだけ圧縮できるかの指標であり、排気されるガスが圧縮性流体の場合に関係するものである。
【0007】
また、「背圧特性」は、真空排気系においてターボ分子ポンプよりも下流側に配置される補助ポンプ(バックポンプ)の影響度合いを表す指標である。この「背圧特性」により、排気性能を維持できる限界背圧が定まることになる。
【0008】
さらに、発明者の知見では、「背圧特性」に関し、排気性能を維持できる限界背圧は、ガス流路体積(ガス流路容積)にも関係するが、主には、流路長の影響を大きく受ける。このため、発明者は、「背圧特性」を向上させたい場合には、排気されるガスの流路長を長くすることが有用であるとの結論に至った。
【0009】
本発明の目的とするところは、排気性能に優れた真空ポンプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0010】
(1)上記目的を達成するために本発明は、回転円板と固定円板の少なくともどちらか一方に、渦巻き状溝が設けられたシグバーン排気機構と、
回転円筒と固定円筒の少なくともどちらか一方に、らせん状溝が設けられたホルベック排気機構と、
を備え、
前記ホルベック排気機構は、前記シグバーン排気機構の下流側に配置される真空ポンプにおいて、
前記ホルベック排気機構の流路深さは、所定深さで連続的に一定となっており、かつ、前記シグバーン排気機構は、所定の位置から前記所定深さで連続的に一定となる領域を有することを特徴とする真空ポンプにある。
(2)また、上記目的を達成するために他の本発明は、前記シグバーン排気機構を複数段備え、
複数の前記シグバーン排気機構のうち、少なくとも前記ホルベック排気機構と接続された最下段の前記シグバーン排気機構の流路深さは、前記所定深さで連続的に一定となっていることを特徴とする(1)に記載の真空ポンプにある。
(3)また、上記目的を達成するために他の本発明は、前記シグバーン排気機構の上流側に、
翼列を有する回転翼と、前記回転翼と軸方向に所定の間隔を持って配置される固定翼と
を備えたことを特徴とする(1)又は(2)に記載の真空ポンプにある。
【発明の効果】
(【0011】以降は省略されています)

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