TOP特許意匠商標
特許ウォッチ DM通知 Twitter
公開番号2022073175
公報種別公開特許公報(A)
公開日2022-05-17
出願番号2020182991
出願日2020-10-30
発明の名称蛍光X線分析装置
出願人株式会社リガク
代理人個人,個人
主分類G01N 23/223 20060101AFI20220510BHJP(測定;試験)
要約【課題】FP法により下地層の上の薄膜における各成分の付着量と厚さの定量値を求める蛍光X線分析装置において、下地層からの測定線強度の影響により薄膜についての定量計算がエラーになるような成分を、分析対象から除外できる装置を提供する。
【解決手段】本発明の蛍光X線分析装置に備わる除外手段(21)が、下地層に測定元素が含まれない成分について、対応する測定線ごとに、当該成分が単独で薄膜を構成しているとの仮定で付着量を計算して、最大の付着量を当該成分の付着量の初期値とし、下地層に測定元素が含まれる成分について、対応する測定線ごとに、下地層に測定元素が含まれない各成分の付着量の初期値に基づいて付着量を計算して、すべての対応する測定線について計算結果がエラーになる場合には、当該成分を定量不可能な成分として分析対象から除外し、それ以外の場合には、最大の付着量を当該成分の付着量の初期値とする。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項1】
各成分の付着量または含有率が既知である単層または複層の下地層と、その下地層の上に形成されて各成分の付着量および厚さが分析対象である単層の薄膜とを有する試料に1次X線を照射し、発生する2次X線の測定強度に基づいてファンダメンタルパラメーター法により前記薄膜における各成分の付着量および厚さの定量値を求める蛍光X線分析装置であって、
ファンダメンタルパラメーター法による定量計算の前処理として、強度を測定すべき2次X線である測定線に対応する成分のうち、定量不可能な成分を分析対象から除外する除外手段を備え、
前記除外手段が、
前記下地層に測定元素が含まれない成分について、対応する測定線ごとに、当該成分が単独で前記薄膜を構成しているとの仮定で付着量を計算して、最大の付着量を当該成分の付着量の初期値とし、
前記下地層に測定元素が含まれる成分について、対応する測定線ごとに、前記下地層に測定元素が含まれない各成分の付着量の初期値に基づいて付着量を計算して、すべての対応する測定線について計算結果がエラーになる場合には、当該成分を定量不可能な成分として分析対象から除外し、それ以外の場合には、最大の付着量を当該成分の付着量の初期値とする、蛍光X線分析装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、下地層と、その上に形成されて各成分の付着量および厚さが分析対象である単層の薄膜とを有する試料に1次X線を照射し、発生する2次X線の測定強度に基づいてファンダメンタルパラメーター法により薄膜における各成分の付着量および厚さの定量値を求める蛍光X線分析装置に関する。
続きを表示(約 2,000 文字)【背景技術】
【0002】
薄膜を有する試料に1次X線を照射し、発生する2次X線の測定強度に基づいてファンダメンタルパラメーター法(以下、FP法ともいう)により薄膜における組成(各成分の付着量)および厚さの定量値を求める蛍光X線分析装置として、例えば、特許文献1に記載の装置がある。ここで、測定強度に基づいてFP法により薄膜の組成および厚さの定量値を求めるとは、試料を構成する薄膜について仮定した組成に基づいて、1次X線により励起されて試料から発生する2次X線(測定線)の理論強度を計算し、その理論強度と試料についての測定強度を理論強度スケールに換算した換算測定強度とが合致するように、薄膜について仮定した組成を逐次近似的に修正計算して、組成および厚さの定量値を求めることをいう。
【0003】
一般に、FP法によりバルクの組成の定量値を求める場合には、組成に対応するものとして、各成分の含有率(質量分率)が用いられ、測定線の強度が対応する成分の含有率に依存することから、バルクの組成の定量値が求められ、厚さの定量値を求めることはできない。これに対して、薄膜においては、組成に対応するものとして、各成分の付着量(単位面積あたりの質量)が用いられ、測定線の強度が対応する成分の付着量に依存することから、薄膜の厚さの変化に応じて測定線の強度が変化する領域で、薄膜における各成分の付着量および厚さの定量値が求められる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
国際公開第2017/026200号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかし、下地層の上に薄膜が形成されている試料の場合、下地層からの測定線の強度が上述の領域を超えていると、逐次近似的な修正計算中に、仮定した各成分の付着量を更新できなくなることから、定量計算を続行できなくなり、その旨のエラー表示とともに各成分の付着量および厚さの定量値が求まらないまま定量計算が終了してしまう。
【0006】
本発明は前記従来の問題に鑑みてなされたもので、FP法により下地層の上に形成された薄膜における各成分の付着量および厚さの定量値を求める蛍光X線分析装置において、下地層からの測定線強度の影響により薄膜についての定量計算がエラーになるような成分については、定量不可能な成分として分析対象から除外できる装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
前記目的を達成するために、本発明は、各成分の付着量または含有率が既知である単層または複層の下地層と、その下地層の上に形成されて各成分の付着量および厚さが分析対象である単層の薄膜とを有する試料に1次X線を照射し、発生する2次X線の測定強度に基づいてファンダメンタルパラメーター法により前記薄膜における各成分の付着量および厚さの定量値を求める蛍光X線分析装置であって、ファンダメンタルパラメーター法による定量計算の前処理として、強度を測定すべき2次X線である測定線に対応する成分のうち、定量不可能な成分を分析対象から除外する除外手段を備えている。
【0008】
そして、除外手段は、まず、前記下地層に測定元素が含まれない成分について、対応する測定線ごとに、当該成分が単独で前記薄膜を構成しているとの仮定で付着量を計算して、最大の付着量を当該成分の付着量の初期値とする。さらに、除外手段は、前記下地層に測定元素が含まれる成分について、対応する測定線ごとに、前記下地層に測定元素が含まれない各成分の付着量の初期値に基づいて付着量を計算して、すべての対応する測定線について計算結果がエラーになる場合には、当該成分を定量不可能な成分として分析対象から除外し、それ以外の場合には、最大の付着量を当該成分の付着量の初期値とする。
【0009】
本発明の蛍光X線分析装置では、除外手段により、まず、下地層に測定元素が含まれない成分について付着量の初期値を概算し、下地層に測定元素が含まれる成分については、下地層に測定元素が含まれない各成分の付着量の初期値に基づいて付着量を計算して、計算結果がエラーになるか否を検討することから、下地層からの測定線強度の影響により薄膜についての定量計算がエラーになるような成分を、定量不可能な成分として適切に分析対象から除外できる。
【図面の簡単な説明】
【0010】
本発明の一実施形態の蛍光X線分析装置を示す概略図である。
同蛍光X線分析装置の動作を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
(【0011】以降は省略されています)

この特許をJ-PlatPatで参照する

関連特許

有限会社テラ
標尺
17日前
個人
移動体の音波誘導装置
9日前
個人
タイヤの摩耗発生装置
11日前
大和製衡株式会社
計量装置
10日前
大和製衡株式会社
組合せ秤
19日前
大和製衡株式会社
組合せ秤
19日前
応用電機株式会社
照明装置
11日前
株式会社カネカ
外観検査装置
19日前
株式会社チノー
計測器
9日前
株式会社小野測器
距離計測装置
19日前
東ソー株式会社
ヘモグロビン分析装置
6日前
株式会社 キョーワ
食品搬送装置
13日前
マブチモーター株式会社
レゾルバ
3日前
株式会社テック技販
触感検出装置
11日前
富士電機株式会社
半導体検査装置
13日前
アズビル株式会社
隔膜真空計
18日前
アズビル株式会社
隔膜真空計
18日前
大扇産業株式会社
採便保存容器
19日前
富士電機株式会社
レーザ式ガス分析計
9日前
東レ株式会社
測色装置及びシートの製造方法
17日前
新日本空調株式会社
墨出し方法
3日前
東洋ガラス株式会社
容器検査システム
9日前
株式会社 和光製作所
温度チェッカー
13日前
東ソー株式会社
吸光光度検出器及び分析装置
6日前
株式会社リガク
蛍光X線分析装置
17日前
株式会社カセダ
キャリパーゲージ
5日前
倉敷紡績株式会社
被覆層の厚さ計測方法
5日前
株式会社 Toshin
水道メータ
4日前
株式会社明和eテック
製品の欠陥検出方法
4日前
株式会社小野測器
レーザドップラー速度計
19日前
中国電力株式会社
被覆電線用接続具
5日前
大和ハウス工業株式会社
センサ装置
18日前
富士電機株式会社
流体測定システム
9日前
株式会社島津製作所
モニタリングシステム
13日前
株式会社ミツトヨ
光電式ロータリエンコーダ
17日前
株式会社デルタプラス
センサユニット
10日前
続きを見る