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公開番号2021050948
公報種別公開特許公報(A)
公開日20210401
出願番号2019172462
出願日20190924
発明の名称測定装置
出願人個人
代理人
主分類G01B 11/25 20060101AFI20210305BHJP(測定;試験)
要約【課題】透明テーブルの上面からの高さ情報(距離)を示す値の代表距離を決定する処理の画像処理情報が少なくて済む測定装置及び測定方法を提供する。
【解決手段】突起部のそれぞれの測定領域paを設定し、第1の基準面DTから測定対象物までの距離である第1の測定領域距離pv1を取得し、第1の測定領域距離pv1から第2の基準面DTの距離を引き演算して第2の測定領域距離pv2を取得し、第2の測定領域距離pv2に基づいて代表距離Vを取得する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項1】
透明テーブルと、
前記透明テーブルの下方に設けられた、該透明テーブルの上面に載せられた又は上方に位置された複数の突起部を有する測定対象物に向けて照射光を照射する光照射部と、
前記透明テーブルの下方に設けられた、前記照射光の前記測定対象物からの反射光を検出する光検出部と、
前記光検出部側の基準位置としてプログラム上に予め平坦度0値で水平面の設定ないし定められている第1の基準面と、
前記透明テーブルの上面位置又は該上面位置の近傍に前記プログラム上で設定される、平坦度0値で水平面の前記第1の基準面からの距離であらわされる第2の基準面を設定する第2の基準面設定部と、
前記突起部のそれぞれの一部又は全部を含む領域である測定領域を前記プログラム上に設定する測定領域設定部と、
前記測定領域の各位置(x、y)の前記第1の基準面から前記測定対象物までの距離である第1の測定領域距離を示す第1の測定領域距離データを取得し、かつ、前記測定領域外の距離情報は取得しない第1の測定領域距離データ取得部と、
前記第1の測定領域距離から前記第2の基準面の距離を引き演算して、前記各位置(x、y)の前記第2の基準面から前記測定対象物までの距離である第2の測定領域距離を示す第2の測定領域距離データを取得する第2の測定領域距離データ取得部と、
前記第2の測定領域距離データに基づいて代表距離を示す代表距離データを取得する代表距離データ取得部と、
を備えてなることを特徴とする測定装置。
続きを表示(約 880 文字)【請求項2】
透明テーブルと、
前記透明テーブルの下方に設けられた、該透明テーブルの上面に載せられた又は上方に位置された複数の突起部を有する測定対象物に向けて照射光を照射する光照射部と、
前記透明テーブルの下方に設けられた、前記照射光の前記測定対象物からの対象物反射光を検出する光検出部と、
前記光検出部側の基準位置としてプログラム上に予め平坦度0値で水平面の設定ないし定められている第1の基準面と、
前記透明テーブルの上面位置又は該上面位置の近傍に前記プログラム上で設定される、平坦度0値で水平面の前記第1の基準面からの距離であらわされる第2の基準面を設定する第2の基準面設定部と、
前記突起部のそれぞれの一部又は全部を含む領域である測定領域を前記プログラム上に設定する測定領域設定部と、
前記測定領域の各位置(x、y)の前記第1の基準面から前記測定対象物までの距離である第1の測定領域距離を示す第1の測定領域距離データを取得し、かつ、前記測定領域外の距離情報は取得しない第1の測定領域距離データ取得部と、
前記第1の測定領域距離データに基づいて第1の代表距離を示す第1の代表距離データを取得する第1の代表距離データ取得部と、
前記第1の代表距離から前記第2の基準面の距離を引き演算して、第2の代表距離を示す第2の代表距離データを取得する第2の代表距離データ取得部と、を備えてなることを特徴とする測定装置。
【請求項3】
前記透明テーブルの上面、下面、上側又は下側に反射部材が設けられ、
前記光検出部で検出した前記反射部材の反射光である反射部材反射光を処理して、前記第2の基準面が設定されることを特徴とする請求項1又は2記載の測定装置。
【請求項4】
前記測定領域の設定は、測定位置にセットされている前記測定対処物の下面の二次元画像を撮影取得して該二次元画像に基づいて設定するものであることを特徴とする請求項1、2又は3記載の測定装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、主に突起部を有する電子部品の該突起部の位置を測定するのに適した測定装置に関する。
続きを表示(約 9,600 文字)【背景技術】
【0002】
従来、
少なくとも1方向に並ぶ複数の突起部を備える測定対象物(検査対象物)を載せる透明テーブルと、
前記透明テーブルの上面に載せられた前記測定対象物に対して、前記透明テーブルの下面から光の強度が周期的に変化する光パターンの照射光を照射する光照射部と、
前記光パターンが照射された前記測定対象物を、前記透明テーブルの下面から撮影するCCDカメラからなる光検出部(撮像部)と、
前記光検出部で検出(撮影)された前記測定対象物の画像を処理して、前記測定対象物の下面(表面)の3次元形状を表すデータであって、XY平面における各画素位置(各位置(x、y))における、前記透明テーブルの上面からの距離(高さ情報、テーブル上面からの浮き距離)を示す表面形状データ(以下「テーブル表面形状データ」という。)を生成するテーブル表面形状データ生成部(画像処理部)と、
前記テーブル表面形状データ生成部で生成された前記テーブル表面形状データにより表されるXY平面において、前記測定対象物における前記複数の突起部それぞれが含まれる領域を特定し、特定された各領域において、前記透明テーブルの上面からの距離を示す値である代表距離を決定する代表距離決定部と、
前記複数の突起部それぞれにおける前記代表距離(代表値)の分布が予め設定された基準を満たしているかを判定する判定部と、を備える、測定装置(検査装置)が知られている。(例えば、特許文献1)
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特許第5385703号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
<定義>
各位置(x、y)の位置(x、y)は、デジタル画像を構成する最小の要素で、画素と呼ばれているものである。この画素にはピクセルとドットがある。
各位置(x、y)は各画素の位置(ピクセル又はドットのことである。)のことである。
各位置(x、y)は各画素位置のことである。
画素数(走査距離の範囲のドット数で定義される「解像度」を含む。)は、例えば、2048画素×2048画素のCCDカメラからなる光検出部(撮像部)の画素数は約419万画素であり、処理領域を特定(指定)しない場合には、例えば、検出視野域(撮影視野域)では419万画素のすべての位置の高さ情報を取得する処理を行うことになる。検出視野域の全画素位置の高さ情報(距離)を取得する処理を以下「全画素位置高さ取得処理」ともいう。
【0005】
上述した従来技術は(図8参照)、
(ア)予めプログラム上に設定されているデータム面(第1の基準面DT)から透明テーブル上面の高さ情報(距離)である第2の基準面を全画素位置高さ取得処理により生成して、全画素位置の高さ情報からなるテーブル上面のテーブル表面形状データ(A)を記憶部に予め記憶しておき(図8の(a)参照)、
(イ)データム面(第1の基準面)から測定対象物の高さ情報(距離)である第1の表面形状データ(B)を全画素位置高さ取得処理により生成し(図8の(b)参照)、
(ウ)全画素位置の第1の表面形状データ(B)の値からテーブル表面形状データ(A)の値を差引く演算を行って、透明テーブル上面から測定対象物の全画素位置の高さ情報(距離)であるテーブル表面形状データ(C)を全画素位置高さ取得処理により生成し(図8の(c)参照)、
(エ)全画素位置の高さ情報(距離)であるテーブル表面形状データ(C)により表されるXY平面において、前記測定対象物における突起部それぞれが含まれる領域である測定領域(D)を特定し(図8の(d)参照)、
(オ)特定された各測定領域において、透明テーブルの上面からの高さ情報(距離)を示す値のである代表距離(E)を決定する(図8の(e)参照)、
というものである。
【0006】
従来技術は以下に述べるような問題を有するものであった。
(1)代表距離を決定するためには、全画素位置(例えば、419万4千画素)の高さ情報からなるテーブル表面形状データの生成が必須である。
このテーブル表面形状データの生成は、[a]全画素位置(例えば、419万4千画素)の高さ情報からなる第1の表面形状データ(B)の取得、[b]全画素位置の高さ情報からなるテーブル表面形状データの取得、[c]第1の表面形状データ(B)の各画素の距離値からテーブル表面形状データの各画素の距離値を差引く全画素位置高さ取得処理(例えば、419万4千画素)の画像処理によるものである。
すなわち、三回の処理(前記[a]、[b]、[c])が全画素位置高さ取得処理であるため、画像処理情報量が膨大であるという欠点を有するものであった。
【0007】
(2)上記従来技術は、透明テーブルの物理的上面を直接測定して該透明テーブル上面位置を測定するものであるので、光検出部(撮像部)の分解能が透明テーブルの平坦度(「反り」も含む。)よりも小さい場合、テーブルの傾きによるテーブル上面の最大高さ位置と最低高さ位置が撮像部の分解能より大きい場合は、テーブル表面形状データは測定した各画素値の値が異なる箇所を有するものとなり、テーブル表面形状データの生成は、第1の表面形状データの全画素位置の値からテーブル表面形状データの全画素位置の値を差引くという膨大な情報量を処理するものになるという問題を有するものであった。
【0008】
本発明は以上のような従来技術の欠点に鑑み、高さ情報(距離)を示す値である代表距離を決定する又は決定するまでの処理の処理情報量が少なくて済む測定装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【0009】
上記目的を達成するために、本発明は以下のような構成としている。
[第1の発明]
透明テーブルと、
前記透明テーブルの下方に設けられた、該透明テーブルの上面に載せられた又は上方に位置された複数の突起部を有する測定対象物に向けて照射光を照射する光照射部と、
前記透明テーブルの下方に設けられた、前記照射光の前記測定対象物からの反射光を検出する光検出部と、
前記光検出部側の基準位置としてプログラム上に予め平坦度0値で水平面の設定ないし定められている第1の基準面と、
前記透明テーブルの上面位置又は該上面位置の近傍に前記プログラム上で設定される、平坦度0値で水平面の前記第1の基準面からの距離であらわされる第2の基準面を設定する第2の基準面設定部と、
前記突起部のそれぞれの一部又は全部を含む領域である測定領域を前記プログラム上に設定する測定領域設定部と、
前記測定領域の各位置(x、y)の前記第1の基準面から前記測定対象物までの距離である第1の測定領域距離を示す第1の測定領域距離データを取得し、かつ、前記測定領域外の距離情報は取得しない第1の測定領域距離データ取得部と、
前記第1の測定領域距離から前記第2の基準面の距離を引き演算して、前記各位置(x、y)の前記第2の基準面から前記測定対象物までの距離である第2の測定領域距離を示す第2の測定領域距離データを取得する第2の測定領域距離データ取得部と、
前記第2の測定領域距離データに基づいて代表距離を示す代表距離データを取得する代表距離データ取得部と、
を備えてなることを特徴とする測定装置である。
【0010】
[第2の発明]
透明テーブルと、
前記透明テーブルの下方に設けられた、該透明テーブルの上面に載せられた又は上方に位置された複数の突起部を有する測定対象物に向けて照射光を照射する光照射部と、
前記透明テーブルの下方に設けられた、前記照射光の前記測定対象物からの対象物反射光を検出する光検出部と、
前記光検出部側の基準位置としてプログラム上に予め平坦度0値で水平面の設定ないし定められている第1の基準面と、
前記透明テーブルの上面位置又は該上面位置の近傍に前記プログラム上で設定される、平坦度0値で水平面の前記第1の基準面からの距離であらわされる第2の基準面を設定する第2の基準面設定部と、
前記突起部のそれぞれの一部又は全部を含む領域である測定領域を前記プログラム上に設定する測定領域設定部と、
前記測定領域の各位置(x、y)の前記第1の基準面から前記測定対象物までの距離である第1の測定領域距離を示す第1の測定領域距離データを取得し、かつ、前記測定領域外の距離情報は取得しない第1の測定領域距離データ取得部と、
前記第1の測定領域距離データに基づいて第1の代表距離を示す第1の代表距離データを取得する第1の代表距離データ取得部と、
前記第1の代表距離から前記第2の基準面の距離を引き演算して、第2の代表距離を示す第2の代表距離データを取得する第2の代表距離データ取得部と、を備えてなることを特徴とする測定装置である。
【0011】
[第3の発明]
前記透明テーブルの上面、下面、上側又は下側に反射部材が設けられ、
前記光検出部で検出した前記反射部材の反射光である反射部材反射光を処理して、前記第2の基準面が設定されることを特徴とする請求項1又は2記載の測定装置である。
【0012】
[第4の発明]
前記測定領域の設定は、測定位置にセットされている前記測定対処物の下面の二次元画像を撮影取得して該二次元画像に基づいて設定するものであることを特徴とする請求項1、2又は3記載の測定装置である。
【発明の効果】
【0013】
本発明にあっては次のような効果を奏する。
[第1の発明]の効果
「前記突起部のそれぞれの一部又は全部を含む領域である測定領域を前記プログラム上に設定する測定領域設定部と、前記測定領域の各位置(x、y)の前記第1の基準面から前記測定対象物までの距離である第1の測定領域距離を示す第1の測定領域距離データを取得し、かつ、前記測定領域外の距離情報は取得しない第1の測定領域距離データ取得部と、前記第1の測定領域距離から前記第2の基準面の距離を引き演算して、前記各位置(x、y)の前記第2の基準面から前記測定対象物までの距離である第2の測定領域距離を示す第2の測定領域距離データを取得する第2の測定領域距離データ取得部と、記第2の測定領域距離データに基づいて代表距離を示す代表距離データを取得する代表距離データ取得部と、」という構成である
よって、先行技術である特許文献1における、全画素位置高さデータである第1の表面形状データ(B)、全画素位置高さデータであるテーブル表面形状データ(A)と比較して、本発明は、測定対象物の測定では測定領域のみの部分画素位置各位置高さデータである。
さらに、先行技術である特許文献1は、全画素位置高さデータである第1の表面形状データ(B)からテーブル表面形状データ(A)を引き演算して、透明テーブル上面から測定対象物の全画素位置の高さ情報(距離)であるテーブル表面形状データ(C)を取得する工程が必須であるのに対して、本発明は、かかる工程が無いものである。
よって、突起部のそれぞれの一部又は全部を含む領域である測定領域の域範囲の情報のみで処理を可能としたものであるので、処理データ量が小さく、よって迅速で軽快な処理測定と格納データ量を小さくすることを実現するという作用効果を奏する。
【0014】
本発明は、全画素位置のデータであるテーブル表面形状データ(C)の取得も使用もないものであるから、それは、特許文献1の発明の目的を達成する中核的構成であるテーブル表面形状データ(C)の使用を否定するものである。
そうであるなら、特許文献1の発明には本発明に想到すること阻害する阻害要因があるものである。
【0015】
[第2の発明]の効果
前記[第1の発明]と異なる点は、「前記第1の測定領域距離データに基づいて第1の代表距離を示す第1の代表距離データを取得する第1の代表距離データ取得部と、前記第1の代表距離から前記第2の基準面の距離を引き演算して、第2の代表距離を示す第2の代表距離データを取得する第2の代表距離データ取得部と、」という点である。
よって、前記[第1の発明]と同様な効果を奏するとともに、第2の代表距離を示す第2の代表距離データの取得が第1の代表距離から第2の基準面の距離の引き演算であるので、その情報(データ)処理量はより小さいという効果を奏する。
【0016】
[第3の発明]の効果
測定対象物と反射部材の同時測定を行って、第1の測定領域距離データを取得と第2の基準面の設定処理を平行してないし略同時に行進めることができる。
【0017】
[第4の発明]の効果
最初に測定対処物の下面の二次元画像を撮影取得して該二次元画像に基づいて測定領域の設定を行うので、透明テーブル上に在る測定対象物の位置を変えることなく測定領域を正確に設定(特定)することができる。すなわち、測定対象物の突起部が曲がっているなどのことがあれば、それを正確に反映した測定領域を設定できる。
【図面の簡単な説明】
【0018】
本発明の実施例1の概念図。
本発明の実施例1の処理を示すチャート図。
本発明の実施例1の処理をイメージ的に示した模式図。
本発明の実施例1の測定領域設定部の画面図。
本発明の実施例2の概念図。
本発明の実施例2の処理を示すチャート図。
本発明の実施例1の処理をイメージ的に示した模式図。
従来技術の処理をイメージ的に示した模式図。
【発明を実施するための形態】
【0019】
以下、本発明を実施するための最良の形態である実施例について説明する。但し、本発明をこれら実施例のみに限定する趣旨のものではない。また、後述する実施例の説明に当って、前述した実施例の同一構成部分には同一符号を付して重複する説明を省略する。
【実施例】
【0020】
図1〜図4に示す本発明の実施例1において、測定装置1は次のような構成となっている。
透明石英ガラスからなる透明テーブル2と、
この透明テーブル2の下方に設けられた、該透明テーブル2の上面に載せられた又は上方に位置された複数の突起部pwを有する測定対象物Wに向けて照射光3を照射する光照射部4、照射光3の測定対象物Wからの反射光である対象物反射光8を検出する光検出部5とを有する光検出ユニット6と、
透明テーブル2の上部に設けた、測定対象物Wのセット位置を枠内に規制する、照射光3を透過する透明ガラスからなる囲い枠形態の位置決め枠45と、
測定位置にセットされている測定対処物Wの下面の白黒の二次元画像bcを撮像する二次元画像取得部46(ここでは「光検出部5」が兼ねている。)と、
二次元画像bcに基づいて、突起部pwのそれぞれの一部又は全部を含む領域(ここでは全部を含む領域)である測定領域paを前記プログラム上に設定する測定領域設定部41と、
光検出部5側の基準位置としてプログラム上に予め設定ないし定められている平坦度0値で水平面(各位置(x、y)(画素、ピクセル)の値は全て同値)の第1の基準面DTと、
透明テーブル2の上面位置又は該上面位置の近傍に前記プログラム上で設定される、第1の基準面DTからの距離であらわされる平坦度0値で水平面(各位置(x、y)(画素、ピクセル)の値は全て同値)の第2の基準面DGを設定する第2の基準面設定部40と、
測定領域paの各位置(x、y)(画素、ピクセル)の第1の基準面DTから測定対象物Wまでの距離である第1の測定領域距離pv1を示す第1の測定領域距離データpvd1を取得し(図3のSTP6)、かつ、測定領域pa外である非測定領域hpaの距離情報は取得しない第1の測定領域距離データ取得部42と、
第1の測定領域距離pv1から第2の基準面DTの距離を引き演算して、各位置(x、y)の第2の基準面DTから測定対象物Wまでの距離である第2の測定領域距離pv2を示す第2の測定領域距離データpvd2を取得する(図3のSTP7)第2の測定領域距離データ取得部43と、
第2の測定領域距離データpvd2に基づいて代表距離Vを示す代表距離データVdを取得する(図3のSTP8)代表距離データ取得部44と、
測定対象物Wの配置域外である位置決め枠45内の透明テーブル2の上面に塗布形態で設けられた、照射光3を拡散反射する複数の反射部材7と、を有する構成となっている。
「水平面」とは傾斜角度0度という意味である。
第1の測定領域距離データ取得部42の処理は、例えば、測定領域paを「1」と設定し該測定領域pa外(非測定領域hpa)を「0」と設定して、「0」の域は距離情報を取得しない、除外する又は記憶せず、「1」の域は各位置(x、y)の距離情報を取得する等する処理である。
【0021】
第2の基準面設定部40による第2の基準面DGの設定は以下のように行われる。
光検出部5で検出された反射部材7のうちの3か所の反射部材7の領域ないし該反射部材7が含まれる領域である反射部材領域raからの反射光である反射部材反射光12を処理して、3か所の反射部材7の反射部材代表距離(最も高い画素の位置値、最も低い画素の位置値又は全画素位置値の平均値など)を決定し、該反射部材代表距離を結ぶ三角形の平面を作成し、該平面を平坦度及び平面度が0度(0値)の水平面(全画素位置の第1の基準面DTからの距離値が同値で傾きが0度の平面)に補正し、かつ、透明テーブル2の上面位置ないし該上面位置近傍に位置させた(オフセットさせた)第2の基準面DGを設定する。
【0022】
光検出ユニット6は、測定対象物Wに縞パターン(正弦波パターン・サイン波パターン)である照射光を投影し、その反射光3の位置を画像センサからなる光検出部5の各画素位置(各位置(x、y))で検知して処理する位相シフト法を採用している。
【0023】
二次元画像取得部46は、光検出部5が兼ねている。
二次元画像取得部46を光検出部5とは別に設けた撮像手段とするのもよい。
また、二次元画像の取得は撮像手段によらないで、例えば、予め在るCADデータやそれを加工したものを二次元画像とし、該二次元画像により(基づいて)測定領域paを決定するのもよい。
また、二次元画像取得部46を設けず、例えば、予め在るCADデータやそれを加工したもの等に基づいて測定領域paを決定しものを予め登録してあるものもよい。
【0024】
本発明のおいては、測定方法は位相シフト法に限定されるものではない。
3次元計測では、例えば、単眼視法、両眼視法、多眼視法、光レーダ法、光投影法、モアレ法、照度差ステレオ法があり、また、フォーカス変位センサ、ラインセンサ、1次元レーザ変位計、2次元レーザ変位計、光切断法などによる測定もあり、これらの測定方法によるものも本願発明の技術的範疇に含まれる。
光検出部9は、CMOSカメラ、CCDカメラ、ラインセンサカメラ(例えば「TDIカメラ」など。)、TOFカメラなど、多様な光検出部が技術的範疇に含まれる。
また、本発明においては、反射部材は拡散反射のものに限定されるものではない。鏡面反射など(正反射など)も本願発明の技術的範疇に含まれるものである。
例えば、レーザ変位計によるものは鏡面を高精度測定するのに適している。この場合、反射部材は設けなくてもよく、透明テーブルの上面そのものを検出し測定することが可能である。
【0025】
代表距離Vは、測定領域paにおいて代表とする距離値であり、該距離値は最も高い画素の位置、最も低い画素の位置又は全画素位置の平均値などである。後述する実施例2の第2の代表距離V2も同様である。
【0026】
制御部20が設けられ、該制御部20には、二次元画像取得部46、測定領域設定部41、第2の基準面設定部40、第1の測定領域距離データ取得部42、第2の測定領域距離データ取得部43、代表距離データ取得部44、代表距離Vが所定の距離範囲内にあるかどうかを判定する判定部17等が設けられている。
【0027】
第1の基準面DTは、光検出ユニット6を制御する制御部20においてプログラム上に任意に決められた基準位置ないし基準値であり、平坦度及び平面度が0度(0値)の水平面で高さ位置値は0値とされ。センサ基準面DTは「幾何公差の基準「データム」」である。
【0028】
図2によって実施例1のステップを説明する。
STP1:二次元画像bcを取得する。
STP2:測定領域paを設定する。
STP3:反射部材7の下面を測定する。
STP4:第2の基準面DGを設定する。
STP5:第1の測定領域距離pv1を取得する。
STP6:第2の測定領域距離pv2を取得する。
STP7:代表距離データVdを取得する。
STP8:判定を行う。
【0029】
二次元画像bcの撮影取得と同時に反射部材7の二次元画像も同じ画像で撮影取得され、測定領域paの設定と反射部材の一部部位ないし全部部位を含む領域である反射部材領域raを設定する。
反射部材領域ra位置の測定と第1の測定領域距離pv1位置の測定は同時測定動作による。
【0030】
図3は、各位置(x、y)(各画素位置)の一部を示す模式図である。縦矢印は各画素位置の距離値を示している。
測定領域pa(図3(a))及び反射部材領域ra(図3(c))が設定され、
第1の測定領域距離pv1(第1の測定領域距離pvd1)が取得(図3(b))及び第2の基準面DGの設定がされ(図3(d))、
引き演算(pv1−DG)によって第2の測定領域距離pv2(第2の測定領域距離pvd2)が取得され(図3(b))、(図3(e))、
第2の測定領域距離pv2(第2の測定領域距離pvd2)に基づいて代表距離Vが決定される(図3(f))。
(【0031】以降は省略されています)

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