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公開番号2021034335
公報種別公開特許公報(A)
公開日20210301
出願番号2019156645
出願日20190829
発明の名称遮断器
出願人株式会社日立産機システム
代理人ポレール特許業務法人
主分類H01H 3/60 20060101AFI20210201BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】
固定側電極と可動側電極が遮断状態(開)から投入状態(閉)に移行する時、可動側電極が固定側電極にぶつかる(接触する)衝撃が発生したとしても、可動側電極に反発応力が加わることがなく、一時的に可動側電極が固定側電極との接続状態が外れることがないこと。
【解決手段】
本発明の遮断器は、上記課題を解決するために、固定側電極と、該固定側電極と対向配置され電気的に接触する可動側電極と、該可動側電極を駆動する駆動部とを備えた遮断器であって、前記固定側電極と前記可動側電極との接触時(駆動最終時)における前記駆動部の駆動力を、駆動途中の駆動終盤時の駆動力より強くして前記可動側電極を前記固定側電極に押し付けるように制御する制御部を備えていることを特徴とする。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項1】
固定側電極と、該固定側電極と対向配置され電気的に接触する可動側電極と、該可動側電極を駆動する駆動部とを備えた遮断器であって、
前記固定側電極と前記可動側電極との接触時(駆動最終時)における前記駆動部の駆動力を、駆動途中の駆動終盤時の駆動力より強くして前記可動側電極を前記固定側電極に押し付けるように制御する制御部を備えているか、
或いは、前記固定側電極と前記可動側電極との接触時(駆動最終時)における前記駆動部の駆動速度を、駆動途中の駆動終盤時の駆動速度より小さくして前記可動側電極を前記固定側電極に押し付けるように制御する制御部を備えていることを特徴とする遮断器。
続きを表示(約 3,200 文字)【請求項2】
請求項1に記載の遮断器であって、
前記可動側電極と前記駆動部が駆動軸を介して接続されていると共に、前記固定側電極と前記可動側電極及び前記駆動部が直線状に配置されていることを特徴とする遮断器。
【請求項3】
請求項1又は2に記載の遮断器であって、
前記制御部による前記駆動力の制御は、駆動電流若しくは駆動電圧の大小で行うか、或いはデジタルによるパルス駆動として単位時間当たりのパルス幅若しくはパルス数により行うことを特徴とする遮断器。
【請求項4】
請求項1又は2に記載の遮断器であって、
前記制御部による前記駆動速度の制御は、前記固定側電極と前記可動側電極との接触前に、前記駆動速度を最高速度より低下させるように行うことを特徴とする遮断器。
【請求項5】
固定側電極と、該固定側電極と対向配置され電気的に接触する可動側電極と、該可動側電極を駆動する駆動部とを備え、前記可動側電極と前記駆動部が駆動軸を介して接続されていると共に、前記固定側電極と前記可動側電極及び前記駆動部が直線状に配置されている遮断器であって、
絶縁体で構成された前記駆動軸の前記可動側電極とは反対側の先端に設置され、前記固定側電極と前記可動側電極の非接触時に圧縮状態となる前記駆動部内に配置された第1のばねと、該第1のばねとは別に前記駆動軸に一端が、前記駆動部に他端が接続され、前記固定側電極と前記可動側電極の接触時に引っ張り力となる第2のばねとを備え、
前記固定側電極と前記可動側電極との接触時(駆動最終時)に、前記第2のばねの引っ張り力が最大となり、前記可動側電極の駆動速度を減速することを特徴とする遮断器。
【請求項6】
請求項5に記載の遮断器であって、
前記第1のばねの反発力の最小値は、前記第2のばねの引っ張り力の最大値より大きいことを特徴とする遮断器。
【請求項7】
固定側電極と、該固定側電極と対向配置され電気的に接触する可動側電極と、該可動側電極を駆動する駆動部とを備え、前記可動側電極と前記駆動部が駆動軸を介して接続されていると共に、前記固定側電極と前記可動側電極及び前記駆動部が直線状に配置されている遮断器であって、
絶縁体で構成された前記駆動軸の前記可動側電極とは反対側の先端に設置され、前記駆動部内に配置された第1のばねと、該第1のばねの外周に、該第1のばねと同軸上に配置された第2のばねとを備え、
前記第2のばねの巻き数を前記第1のばねの巻き数より少なくし、前記固定側電極と前記可動側電極との接触時(駆動最終時)での前記第2のばねの引っ張り力を、一時的に前記第1のばねの引っ張り力より大きくしたことを特徴とする遮断器。
【請求項8】
固定側電極と、該固定側電極と対向配置され電気的に接触する可動側電極と、該可動側電極を駆動する駆動部とを備え、前記可動側電極と前記駆動部が駆動軸を介して接続されていると共に、前記固定側電極と前記可動側電極及び前記駆動部が直線状に配置されている遮断器であって、
絶縁体で構成された前記駆動軸の前記可動側電極とは反対側の先端に設置され、前記駆動部内に配置された第1のばねと、該第1のばねの外周に、該第1のばねと同軸上に配置された第2のばねと、前記駆動軸に設置されている磁石受け部と、該磁石受け部と対向配置された電磁石とを備え、
前記固定側電極と前記可動側電極間の距離が一定以上近づいた段階で、一時的に前記電磁石を作動させて前記磁石受け部を吸引接触して前記駆動軸に減速力を発生させ、駆動途中の駆動終盤時での駆動速度を急減速し、減速後、前記電磁石をOFFにして前記磁石受け部との吸引接触を開放し、前記固定側電極と前記可動側電極を低速度で接触させることを特徴とする遮断器。
【請求項9】
固定側電極と、該固定側電極と対向配置され電気的に接触する可動側電極と、該可動側電極を駆動する駆動部とを備え、前記可動側電極と前記駆動部が駆動軸を介して接続されていると共に、前記固定側電極と前記可動側電極及び前記駆動部が直線状に配置されている遮断器であって、
絶縁体で構成された前記駆動軸の前記可動側電極とは反対側の先端に設置され、前記駆動部内に配置されたばねと、前記駆動軸と一緒に動作する接触板と対向して配置された油圧ダンパとを備え、
前記固定側電極と前記可動側電極とが非接触状態では前記ばねは圧縮状態で、前記油圧ダンパと前記接触板の距離が所定値離れており、前記ばねの引っ張り力により前記可動側電極が前記固定側電極に向って移動すると前記油圧ダンパと前記接触板の距離が徐々に減少し、前記油圧ダンパが前記接触板に接触することにより前記油圧ダンパが前記駆動軸に減速力を発生させ、駆動途中の駆動終盤時での駆動速度を急減速し、減速後、再び前記可動側電極が前記固定側電極に向って移動して前記固定側電極と前記可動側電極とが接触することを特徴とする遮断器。
【請求項10】
固定側電極と、該固定側電極と対向配置され電気的に接触する可動側電極と、該可動側電極を駆動する駆動部とを備え、前記可動側電極と前記駆動部が駆動軸を介して接続されていると共に、前記固定側電極と前記可動側電極及び前記駆動部が直線状に配置されている遮断器であって、
前記駆動軸の一部を回転可能に構成すると共に、絶縁体で構成された前記駆動軸の前記可動側電極とは反対側の先端に設置され、前記駆動部内に配置されたばねと、前記駆動軸の回転可能に構成された部分に溝部を設け、前記溝部を移動する突起体とを備え、
前記固定側電極と前記可動側電極とが非接触状態では前記ばねは圧縮状態で、前記ばねの引っ張り力により前記可動側電極が前記固定側電極に向って移動すると前記突起体が前記溝部を移動することにより前記駆動軸に減速力を発生させ、駆動途中の駆動終盤時での駆動速度を急減速し、減速後、前記駆動軸の回転可能に構成された部分が回転し、前記突起体が前記溝部を移動することによって、再び前記可動側電極が前記固定側電極に向って移動して前記固定側電極と前記可動側電極とが接触することを特徴とする遮断器。
【請求項11】
請求項10に記載の遮断器であって、
前記溝部は、軸方向に伸延する直線状の第1の溝部と、該第1の溝部の前記駆動部側端部から連続して形成された曲線状の第2の溝部とから成り、
前記可動側電極が前記固定側電極に向って移動すると前記突起体が前記第1の溝部を移動し、前記駆動軸の回転可能に構成された部分が回転し、前記突起体が前記第2の溝部の曲線状の曲率部に衝突することにより前記駆動軸に減速力を発生させ、駆動途中の駆動終盤時での駆動速度を急減速することを特徴とする遮断器。
【請求項12】
固定側電極と、該固定側電極と対向配置され電気的に接触する可動側電極と、該可動側電極を駆動する駆動部とを備え、前記可動側電極と前記駆動部が駆動軸を介して接続されていると共に、前記固定側電極と前記可動側電極及び前記駆動部が直線状に配置されている遮断器であって、
絶縁体で構成された前記駆動軸の前記可動側電極とは反対側の先端に設置され、前記駆動部内に配置されたばねと、前記固定側電極の周囲に配置された電磁石とを備え、
前記電磁石に電流を流し、前記電磁石による吸着力(A)と前記ばねによる前記固定側電極と前記可動側電極の引きはがし力(B)の関係がA>Bであれば、前記固定側電極と前記可動側電極が接触して導通し、前記電磁石の電流がOFFか又は弱まりA<Bになれば、前記固定側電極と前記可動側電極が分離して非導通となることを特徴とする遮断器。

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は遮断器に係り、特に、相対向する電極の可動側が操作器等の駆動部により駆動されるものに好適な遮断器に関する。
続きを表示(約 7,300 文字)【背景技術】
【0002】
遮断器に関する従来技術としては、特許文献1に記載されている真空遮断器を挙げることができる。この特許文献1には、真空遮断器の重量やサイズを増加させることなく、真空遮断器の開閉動作に伴う衝撃や振動による応力を軽減して操作機構部の筺体の撓みを低減し、開閉動作に対する信頼性を向上させるために、少なくとも固定側電極及び可動側電極が格納され、周囲がモールド部で覆われている真空バルブと、駆動軸を介して連結されて前記可動側電極を駆動する操作機構部とを備え、前記真空バルブ(固定側電極及び可動側電極)と前記駆動軸及び前記操作機構部が直線状に配置されていると共に、前記真空バルブのモールド部と前記操作機構部に跨り両者を固定する固定部材を備えていることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
特開2018−147643号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、上述した特許文献1の真空遮断器は、真空バルブ(固定側電極及び可動側電極)と駆動軸及び駆動部である操作機構部が直線状に配置されているため、固定側電極と可動側電極が遮断状態(開)から投入状態(閉)に移行する際に、可動側電極が固定側電極にぶつかる(接触する)ことによる操作機構部からの駆動力が直接固定側電極に掛ることになる。
【0005】
このため、固定側電極と可動側電極が遮断状態(開)から投入状態(閉)に移行する時、可動側電極が固定側電極にぶつかる(接触する)際の衝撃で、可動側電極に反発応力が加わり、一時的に可動側電極が固定側電極との接続状態が外れてしまう(可動側電極と固定側電極が完全な非接触状態となってしまう)恐れがある。
【0006】
本発明は上述の点に鑑みなされたもので、その目的とするところは、固定側電極と可動側電極が遮断状態(開)から投入状態(閉)に移行する時、可動側電極が固定側電極にぶつかる(接触する)衝撃が発生したとしても、可動側電極に反発応力が加わることがなく、一時的に可動側電極が固定側電極との接続状態が外れることのない遮断器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明の真空遮断器は、上記目的を達成するために、固定側電極と、該固定側電極と対向配置され電気的に接触する可動側電極と、該可動側電極を駆動する駆動部とを備えた遮断器であって、前記固定側電極と前記可動側電極との接触時(駆動最終時)における前記駆動部の駆動力を、駆動途中の駆動終盤時の駆動力より強くして前記可動側電極を前記固定側電極に押し付けるように制御する制御部を備えているか、
或いは、前記固定側電極と前記可動側電極との接触時(駆動最終時)における前記駆動部の駆動速度を、駆動途中の駆動終盤時の駆動速度より小さくして前記可動側電極を前記固定側電極に押し付けるように制御する制御部を備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【0008】
本発明によれば、固定側電極と可動側電極が遮断状態(開)から投入状態(閉)に移行する時、可動側電極が固定側電極にぶつかる(接触する)衝撃が発生したとしても、可動側電極に反発応力が加わることがなく、一時的に可動側電極が固定側電極との接続状態が外れることはない。
【図面の簡単な説明】
【0009】
本発明の遮断器の一例として真空遮断器を示す断面図である。
本発明の遮断器の実施例1である真空遮断器の駆動開始時(固定側電極と可動側電極が非接触時)を示す図である。
本発明の遮断器の実施例1である真空遮断器の図2の状態から固定側電極と可動側電極との距離が近づき接触が近い駆動終盤時を示す図である。
本発明の遮断器の実施例1である真空遮断器の固定側電極に可動側電極が接触した駆動最終時を示す図である。
本発明の遮断器の実施例1である真空遮断器の駆動開始時から駆動終盤時、駆動最終時へと可動側電極が移動する際の操作機構部の駆動力の変化を示す図である。
本発明の遮断器の実施例2である真空遮断器の駆動開始時(固定側電極と可動側電極が非接触時)を示す図である。
本発明の遮断器の実施例2である真空遮断器の図2の状態から固定側電極と可動側電極との距離が近づき接触が近い駆動終盤時を示す図である。
本発明の遮断器の実施例2である真空遮断器の固定側電極に可動側電極が接触した駆動最終時を示す図である。
本発明の遮断器の実施例2である真空遮断器の駆動開始時から駆動終盤時、駆動最終時へと可動側電極が移動する際の操作機構部の駆動力の変化を示す図である。
ばねを用いた従来の真空遮断器の固定側電極と可動側電極が非接触の状態を示す図である。
ばねを用いた従来の真空遮断器の固定側電極と可動側電極が接触している状態を示す図である。
本発明の遮断器の実施例3である真空遮断器の固定側電極と可動側電極が非接触の状態を示す図である。
本発明の遮断器の実施例3である真空遮断器の固定側電極と可動側電極が接触している状態を示す図である。
ばねを用いた従来の真空遮断器における可動側電極の駆動速度とばねの反発力との関係を示す図である。
本発明の遮断器の実施例3である真空遮断器における可動側電極の駆動速度とばねの反発力との関係を、ばねを用いた従来の真空遮断器における可動側電極の駆動速度とばねの反発力と比較して示す図である。
本発明の遮断器の実施例4である真空遮断器の固定側電極と可動側電極が接触している状態を示す図である。
本発明の遮断器の実施例5である真空遮断器の固定側電極と可動側電極が接触している状態を示す図である。
本発明の遮断器の実施例6である真空遮断器の固定側電極と可動側電極が非接触の状態を示す図である。
本発明の遮断器の実施例6である真空遮断器の固定側電極と可動側電極が接触している状態を示す図である。
本発明の遮断器の実施例6である真空遮断器の油圧ダンパ接触時と電極接触時における可動側電極の駆動速度の変化を示す図である。
本発明の遮断器の実施例6である真空遮断器の油圧ダンパ接触時と電極接触時における油圧ダンパの制動力の変化を示す図である。
本発明の遮断器の実施例7である真空遮断器の固定側電極と可動側電極が非接触の状態を示す図である。
本発明の遮断器の実施例7である真空遮断器の可動側電極が固定側電極に接触するために移動した際の第1の溝部における固定側電極と可動側電極が非接触の状態の時の突起体の位置を示す図である
図23(a)の状態から可動側電極が左側に移動した時の第1の溝部における突起体の位置を示す図である。
図23(b)の状態から可動側電極が更に左側に移動した時の第2の溝部の曲率部における突起体の位置を示す図である。
図23(c)の状態から可動側電極が更に左側に移動した時の第2の溝部における突起体の位置を示す図である。
本発明の遮断器の実施例8である真空遮断器の固定側電極と可動側電極が接触している状態を示す図である。
本発明の遮断器の実施例8である真空遮断器の固定側電極と可動側電極が非接触の状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、図示した実施例に基づいて本発明の遮断器を説明する。なお、各実施例において、同一構成部品には同符号を使用する。
【0011】
先ず、図1を用いて本発明の遮断器の代表的な例である真空遮断器について説明する。
【0012】
図1に示す如く、真空遮断器40は、エポキシ樹脂等の固体絶縁物により一体注型(モールド)されて形成された(周囲がモールド部1Aで覆われた)真空バルブ1と、固定側ケーブルブッシング導体15の周囲がモールドされている固定側ケーブルブッシング2と、可動側ケーブルブッシング導体16の外部の周囲がモールドされている可動側ケーブルブッシング3と、後述する可動側電極13を操作する駆動部である操作機構部4とで概略構成されている。通常、エポキシ樹脂等の固体絶縁物により一体注型された真空バルブ1は、モールド真空バルブと呼ばれている。なお、特に図示しないが、モールド部分は通常接地されている。
【0013】
上述した真空バルブ1は、円筒絶縁材5の一端に接合された固定側端板6と、固定側端板6を気密に貫通する固定側導体7と、円筒絶縁材5の他端に接合された可動側端板8と、可動側端板8に一端が接合され、可動部の駆動を許容する蛇腹形状のベローズ9と、ベローズ9を気密に貫通し真空を維持しながら軸方向に駆動する可動側導体10とから構成され、その内部圧力は、およそ10
−2
Pa以下の真空に保たれている。
【0014】
その真空バルブ1の内部には、円筒絶縁材5で支持された浮遊電位金属11と、固定側導体7の端部に接続された固定側電極12と、可動側導体10の端部に接続された可動側電極13とが配置されている。
【0015】
可動側導体10は操作用絶縁ロッド14に接続され、操作用絶縁ロッド14は操作機構部4に収納され、電極対に接触荷重を加えるワイプ機構と連結された操作器に接続されている。操作用絶縁ロッド14の周囲空間には、空気や六フッ化硫黄などの絶縁ガス18が充填されている。
【0016】
また、図示しない操作器の駆動に連動して操作用絶縁ロッド14を介して可動側電極13が駆動することで、固定側電極12と可動側電極13の接離、即ち、真空バルブ1の開状態と閉状態を切り替えることができる。なお、図1の真空バルブ1は、開状態を示している。
【0017】
固定側ケーブルブッシング2は、固定側ケーブルブッシング導体15を真空バルブ1の固定側導体7に電気的に接続して、また、可動側ケーブルブッシング3は、可動側ケーブルブッシング導体16を真空バルブ1の可動側に配置して、真空バルブ1と一緒にエポキシ樹脂等の固体絶縁物により一体注型されており、真空バルブ1の可動側導体10と可動側ケーブルブッシング導体16は、摺動通電可能な接触子17を介して電気的に接続され、固定側ケーブルブッシング2と可動側ケーブルブッシング3に、図示しない電源側ケーブルや負荷側ケーブルがそれぞれ接続されることで、運転できる構成となっている。
【0018】
また、図1に示す真空遮断器40は、真空バルブ(固定側電極12及び可動側電極13)1と駆動軸(可動側導体10、操作用絶縁ロッド14)及び駆動部である操作機構部4とがほぼ直線状に配置されていると共に、真空バルブ1の周囲のモールド部1Aと操作機構部4とに跨り、両者を一体に固定する固定部材19を有した構成となっている。
【0019】
このように、図1に示す真空遮断器40は、真空バルブ(固定側電極12及び可動側電極13)1と駆動軸(可動側導体10、操作用絶縁ロッド14)及び操作機構部4とがほぼ直線状に配置されているため、固定側電極12と可動側電極13が遮断状態(開)から投入状態(閉)に移行する際に、可動側電極13が固定側電極12にぶつかる(接触する)ことによる操作機構部4からの駆動力が、操作用絶縁ロッド14、可動側導体10及び可動側電極13を介して直接固定側電極12に掛ることになる。
【0020】
このことから、固定側電極12と可動側電極13が遮断状態(開)から投入状態(閉)に移行する時、可動側電極13が固定側電極12にぶつかる(接触する)際の衝撃で、可動側電極13に反発応力が加わり、一時的に可動側電極13が固定側電極12との接続状態が外れてしまう(可動側電極13と固定側電極12が完全な非接触状態となってしまう)恐れがある。
【0021】
これを解決するのが本発明の遮断器であり、本発明の遮断器の一例である真空遮断器40では、固定側電極12と可動側電極13との接触時(駆動最終時)における駆動部である操作機構部4の駆動力を、駆動途中の駆動終盤時の駆動力より強くして可動側電極13を固定側電極12に押し付けるように制御する制御部を備えているか、或いは、固定側電極12と可動側電極13との接触時(駆動最終時)における駆動部である操作機構部4の駆動速度を、駆動途中の駆動終盤時の駆動速度より小さくして可動側電極13を固定側電極12に押し付けるように制御する制御部又はばねを備えていることを特徴とする。
【0022】
以下、上記操作機構部4の駆動力を、駆動途中の駆動終盤時の駆動力より強くして可動側電極13を固定側電極12に押し付けるように制御部で制御する具体例、及び上記操作機構部4の駆動速度を、駆動途中の駆動終盤時の駆動速度より小さくして可動側電極13を固定側電極12に押し付けるように制御部又はばねで制御する具体例について説明する。
【実施例】
【0023】
図2、図3、図4及び図5に、本発明の遮断器の実施例1として操作機構部4の駆動力を、駆動途中の駆動終盤時の駆動力より強くして可動側電極13を固定側電極12に押し付けるように制御部で制御する例を示す。
【0024】
図2、図3及び図4は、図1に示した真空遮断器40の概略構成であり、図2は真空遮断器40の駆動開始時(a)(固定側電極12と可動側電極13が非接触時)を、図3は図2の状態から固定側電極12と可動側電極13との距離が近づき接触が近い駆動終盤時(b)を、図4は固定側電極12に可動側電極13が接触した駆動最終時(c)をそれぞれ示し、図5は駆動開始時(a)から駆動終盤時(b)、駆動最終時(c)へと可動側電極13が移動する際の操作機構部4の駆動力の変化を示す。
【0025】
図2、図3及び図4に示す本実施例では、操作機構部4に制御部20Aを備え、この制御部20Aで、固定側電極12と可動側電極13との接触時(駆動最終時(c))における操作機構部4の駆動力を、駆動途中の駆動終盤時(b)の駆動力より強くして可動側電極13を固定側電極12に押し付けるように制御している。
【0026】
即ち、制御部20Aで、図5に示すように、駆動開始時(a)には操作機構部4の駆動力を最も大きい“大”にし、図2の状態から固定側電極12と可動側電極13との距離が近づき接触が近い図3の状態の駆動終盤時(b)には操作機構部4の駆動力を最も小さい“小”にし、固定側電極12に可動側電極13が接触した図4の駆動最終時(c)には操作機構部4の駆動力を駆動終盤時(b)の駆動力より大きい“中”にして可動側電極13を固定側電極12に押し付けるようにしている。
【0027】
なお、上記した制御部20Aによる操作機構部4の駆動力の制御は、駆動電流若しくは駆動電圧の大小で行うか、或いはデジタルによるパルス駆動として単位時間当たりのパルス幅若しくはパルス数により行うものである。
【0028】
このように、制御部20Aで、固定側電極12と可動側電極13との接触時(駆動最終時(c))における操作機構部4の駆動力を、駆動途中の駆動終盤時(b)の駆動力より強く(大きく)して可動側電極13を固定側電極12に押し付けるように制御することにより、固定側電極12と可動側電極13が遮断状態(開)から投入状態(閉)に移行する時、可動側電極13が固定側電極12にぶつかる(接触する)衝撃が発生したとしても、駆動最終時(c)における操作機構部4の駆動力を、駆動途中の駆動終盤時(b)の駆動力より強くして可動側電極13を固定側電極12に押し付けているので、可動側電極13への反発を抑制でき、可動側電極13に反発応力が加わることがなく、一時的に可動側電極13が固定側電極12との接続状態が外れることはない。
【実施例】
【0029】
図6、図7、図8及び図9に、本発明の遮断器の実施例2として固定側電極12と可動側電極13との接触時(駆動最終時(c))における操作機構部4の駆動速度を、駆動途中の駆動終盤時(b)の駆動速度より小さくして可動側電極13を固定側電極12に押し付けるように制御部で制御する例を示し、固定側電極12と可動側電極13との接触前に、操作機構部4の駆動速度を最高速度より低下させるように制御する例を示す。
【0030】
図6、図7及び図8は、図1に示した真空遮断器40の概略構成であり、図6は真空遮断器40の駆動開始時(a)(固定側電極12と可動側電極13が非接触時)を、図7は図6の状態から固定側電極12と可動側電極13との距離が近づき接触が近い駆動終盤時(b)を、図8は固定側電極12に可動側電極13が接触した駆動最終時(c)をそれぞれ示し、図9は駆動開始時(a)から駆動終盤時(b)、駆動最終時(c)へと可動側電極13が移動する際の操作機構部4の駆動速度の変化を示す。
(【0031】以降は省略されています)

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