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公開番号2019072700
公報種別公開特許公報(A)
公開日20190516
出願番号2017202449
出願日20171019
発明の名称薄膜製造装置
出願人東芝三菱電機産業システム株式会社
主分類B05B 12/16 20180101AFI20190419BHJP(霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般)
要約【課題】効率的に長尺の基材上に薄膜を成膜することができる薄膜製造装置を得る。
【解決手段】原料ミスト噴出用ノズル60のノズル本体65において、空洞部68を形成する底面部64は、原料ミスト供給口61を中心部に有し、原料ミスト供給口61から端部にかけて下方に傾く傾斜面形状を呈している。原料ミスト噴出用ノズル60は、底面部64の端部に接続される凝集原料排出管62をさらに備え、凝集原料排出管62は内部に貫通する凝集原料排出通路63を有しており、凝集原料排出通路63の一端が底面部64の端部に接続され、他端に外部に接続可能な取付治具83が設けられる。
【選択図】図2

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