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発行日令和3年11月22日(2021.11.22)
公報種別意匠公報(S)
登録番号意匠登録第1700558号(D1700558)
登録日令和3年11月5日(2021.11.5)
意匠に係る物品半導体製造装置用サセプタ
意匠分類K0-790(K1~K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号意願2021-11311(D2021-11311)
出願日令和3年5月27日(2021.5.27)
意匠権者東京エレクトロン株式会社
代理人個人,個人
意匠の説明背面図、右側面図及び左側面図は、正面図と同一に表れるため、背面図、右側面図及び左側面図を省略する。
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