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発行日令和3年9月6日(2021.9.6)
公報種別意匠公報(S)
登録番号意匠登録第1694395号(D1694395)
登録日令和3年8月19日(2021.8.19)
意匠に係る物品基板搬送機
意匠分類K0-790(K1~K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号意願2020-8330(D2020-8330),29/710,816
出願日令和2年4月22日(2020.4.22),令和1年10月25日(2019.10.25)
意匠権者アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人園田・小林特許業務法人
意匠の説明実線で表された部分が意匠登録を受けようとする部分である。破線は例示を目的とし、破線で表された部分は意匠登録を受けようとする部分ではない。平面図において、破線で示されたウェハ回転子を有する搬送チャンバ環境内にある基板搬送構造を示す。右側面図及び背面図は、左側面図と同一又は対象のため省略する。
この意匠をJ-PlatPatで参照する

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