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発行日令和3年8月23日(2021.8.23)
公報種別意匠公報(S)
登録番号意匠登録第1693255号(D1693255)
登録日令和3年8月3日(2021.8.3)
意匠に係る物品プラズマ処理装置用シャワーヘッド
意匠分類K0-790(K1~K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号意願2021-2341(D2021-2341),29/745,033
出願日令和3年2月3日(2021.2.3),令和2年8月3日(2020.8.3)
意匠権者ラム リサーチ コーポレーション
代理人特許業務法人明成国際特許事務所
意匠の説明
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