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発行日2024-10-08
公報種別意匠公報(S)
登録番号1781749
登録日2024-09-30
意匠に係る物品プラズマチャンバ用シールド
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2024011177,29/919,824
出願日2024-06-03
意匠権者ラムリサーチコーポレーション,LAM RESEARCH CORPORATION
代理人弁理士法人明成国際特許事務所
意匠に係る物品の説明本願に係る物品(以下、「本物品」という。)は、半導体製造装置において用いられるプラズマチャンバ用のシールドである。
意匠の説明実線で表した部分が意匠登録を受けようとする部分である。背面図は正面図と同一であり、左側面図は右側面図と同一であるのでそれぞれ省略する。

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