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発行日2023-06-08
公報種別意匠公報(S)
登録番号1745925
登録日2023-05-31
意匠に係る物品サセプタカバー
意匠分類K0-790(K1～K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2022022681
出願日2022-10-20
意匠権者株式会社ニューフレアテクノロジー
代理人弁理士法人清水・醍醐事務所
意匠に係る物品の説明本物品は、半導体製造装置等においてウェハを保持するために用いるサセプタユニットを構成するカバー部品であり、基台となるサセプタ部品上に、その一部がカバーベース部品を介して載置される部品である。
意匠の説明
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