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発行日2022-01-14
公報種別意匠公報(S)
登録番号1704966
登録日2022-01-04
意匠に係る物品リフレクタ
意匠分類K0-790(K1~K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2021017778
出願日2021-08-18
意匠権者株式会社ニューフレアテクノロジー
代理人特許業務法人 清水・醍醐特許商標事務所
意匠に係る物品の説明本物品は、ウェーハの表面にエピタキシャル膜を被覆する半導体製造装置において、加熱手段として用いられるヒータの熱を反射するためのリフレクタ(反射部材)である。当該リフレクタは、円盤状の内周リフレクタと、半環状の二つの部材からなる外周リフレクタにより構成され、外周リフレクタの内周および内周リフレクタの外周にそれぞれ2箇所の凹み部分が形成されていて、これらの凹みは互いに離れた位置に配置されている。
意匠の説明底面図は平面図と対称のため省略する。
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