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発行日2022-01-14
公報種別意匠公報(S)
登録番号1704964
登録日2022-01-04
意匠に係る物品プラズマ処理装置用サセプタリング
意匠分類K0-790(K1~K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2021008306
出願日2021-04-19
意匠権者株式会社日立ハイテク
代理人特許業務法人磯野国際特許商標事務所
意匠に係る物品の説明本物品は、半導体製造で使われるプラズマ処理装置に用いられるサセプタリングであり、静電チャックおよびRF給電リングをプラズマから保護するためのものである。本物品は、B-B部分拡大図において略横長長方形状で表れる大きな溝を備えており、また、長い外周縁部を備えることで、使用状態及び各部の名称を示す参考図に一例を示すように、使用状態において本物品の外周縁部が内側の構成物を囲う形状としている。
意匠の説明「正面・底面・右側面側からの斜視図」及び「正面、底面、右側面を表す図でのA-A線一部切欠斜視拡大断面図」中、他の六面図に表れていない細線は、いずれも立体表面の形状を特定するためのものである。
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