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発行日2022-01-13
公報種別意匠公報(S)
登録番号1704608
登録日2021-12-27
意匠に係る物品半導体処理チャンバ用ガス分配プレート
意匠分類K0-790(K1~K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2021004329,29/749,079
出願日2021-03-02
意匠権者アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド,APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
代理人園田・小林特許業務法人
意匠に係る物品の説明
意匠の説明底面図は平面図と同一に表れるため省略する。部分拡大図2の端部を示した断面図は、縁部と、当該ガス分配プレートに形成された典型的な開口部の詳細を示すものである。図表面の線影と断面のハッチングは耐火材であることを示す。
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