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発行日2022-01-13
公報種別意匠公報(S)
登録番号1704543
登録日2021-12-24
意匠に係る物品半導体製造装置用サセプタ
意匠分類K0-790(K1~K9に属さないその他の産業用機械器具)
出願番号2021011312
出願日2021-05-27
意匠権者東京エレクトロン株式会社,TOKYO ELECTRON LIMITED
代理人個人,個人
意匠に係る物品の説明本物品は、半導体製造の成膜過程において、半導体成膜装置内に設置され、半導体ウェハを保持するためのものである。具体的には、参考斜視図に示したように、5カ所の小さな円形状の透孔部に、小径の略円柱状の支持部を接合し、本物品の下方に設置される回転駆動部と結合させる。そして、半導体ウェハと略同径の略円柱状の半導体ウェハ支持装置に、半導体ウェハが回転可能な状態で載置され、本物品の5カ所の大きな円形状の透孔部に、半導体ウェハが載置された半導体ウェハ支持装置が、下方より挿入される。その後、半導体支持装置上の半導体ウェハが回転しつつ、更に、本物品全体が回転し、半導体成膜装置内に流入したガスにより、半導体ウェハ上に均一な成膜を行うものである。
意匠の説明背面図、右側面図及び左側面図は、正面図と同一に表れるため、背面図、右側面図及び左側面図を省略する。
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